搜索到 篇“ 吸合时间 “的相关文章

相关作者

翟国富
作品数:818被引量:1,641H指数:22
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:电磁继电器 继电器 电磁超声 多余物 电磁超声换能器
庞洁
作品数:6被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:吸合时间 悬臂梁 块结构 加速度传感器 锚点
杨恒
作品数:143被引量:135H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
王跃林
作品数:719被引量:789H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
李昕欣
作品数:522被引量:367H指数:10
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻