搜索到 篇“ 功函数 “的相关文章

相关作者

殷华湘
作品数：738被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
徐秋霞
作品数：366被引量：64H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
赵超
作品数：565被引量：35H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
王文武
作品数：410被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
叶甜春
作品数：838被引量：658H指数：10
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底