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作品数：514被引量：7H指数：2
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殷华湘
作品数：738被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
胡辉勇
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张鹤鸣
作品数：478被引量：271H指数：9
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：应变SI BICMOS 双极器件 多晶 光刻