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史峥
作品数:89被引量:100H指数:6
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:光学邻近校正 集成电路 光刻 成品率 版图
严晓浪
作品数:488被引量:995H指数:15
供职机构:浙江大学电气工程学院
研究主题:集成电路 VLSI 低功耗 光学邻近校正 版图
王国雄
作品数:36被引量:68H指数:5
供职机构:浙江大学
研究主题:光学邻近校正 光刻 集成电路 光刻模拟 光刻仿真
陈志锦
作品数:26被引量:64H指数:5
供职机构:中国兵器工业第58研究所
研究主题:光学邻近校正 集成电路 光刻模拟 交流伺服系统 光刻仿真
杜惊雷
作品数:122被引量:339H指数:10
供职机构:四川大学
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