搜索到 篇“ 光刻仿真 “的相关文章

相关作者

史峥
作品数：89被引量：95H指数：6
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：光学邻近校正 光刻 集成电路 成品率 版图
王国雄
作品数：36被引量：67H指数：5
供职机构：浙江大学
研究主题：光学邻近校正 光刻 集成电路 光刻模拟 光刻仿真
严晓浪
作品数：488被引量：986H指数：15
供职机构：浙江大学电气工程学院
研究主题：集成电路 VLSI 低功耗 光学邻近校正 版图
吴玉平
作品数：168被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 集成电路设计 电路网表 电路性能
陈岚
作品数：876被引量：151H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余