搜索到 篇“ 侧墙 “的相关文章

相关作者

朱慧珑
作品数：1,182被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
殷华湘
作品数：715被引量：17H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
尹海洲
作品数：522被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 半导体结构 沟道 鳍片 栅极
钟汇才
作品数：379被引量：38H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 介质层 栅极 衬底 侧墙
赵超
作品数：561被引量：33H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物