搜索到 篇“ 低介电常数材料 “的相关文章

相关作者

张卫
作品数：794被引量：296H指数：9
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
丁士进
作品数：219被引量：165H指数：8
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
姜标
作品数：522被引量：303H指数：10
供职机构：中国科学院上海高等研究院
研究主题：催化剂 氯乙烯 乙炔 克雷伯氏肺炎杆菌 化合物
杜丽萍
作品数：12被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海高等研究院
研究主题：低介电常数材料 乙基 二氯硅烷 含氟 金属杂质
王万军
作品数：16被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院上海高等研究院
研究主题：低介电常数材料 提纯 乙基 二氯硅烷 含氟